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绿碳化硅生产设备工艺流程

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绿碳化硅合成工艺方法名称:绿碳化硅合成工艺方法技术领域:本发明涉及ー种绿碳化硅合成的エ艺方法。背景技术:目前绿碳化硅生产吋,特别是在合成エ艺中,采用合成炉进行生产,其合成。

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